Monokristalli kremniy gofretni qayta ishlash texnologiyasi

Oziqlantirish → eritish → bo'yin o'sishi → elka o'sishi → izometrik o'sish → quyruq o'sishi
(1) Oziqlantirish: Polisilikon xomashyosi va aralashmalarni kvarts tigelga soling. Nopokliklar turi qarshilikning N yoki P turiga bog'liq. Nopoklarning turlari bor, fosfor, surma va mishyakdir.
(2) Erish: polisilikon xom ashyosini kvarts idishiga qo'shgandan so'ng, kristall o'sish pechini yopish va evakuatsiya qilish kerak, so'ngra ma'lum bir bosim oralig'ini ushlab turish uchun yuqori toza argon bilan to'ldiriladi va keyin grafit isitgichning quvvatini yoqing. erish haroratiga (1420 daraja) qizdiriladi, polisilikon xom ashyosi eritiladi.
(3) Bo'yin o'sishi: kremniy eritmasining harorati barqaror bo'lganda, urug'lik kristalini asta-sekin silikon eritmasiga botiring. Urug 'kristalining kremniy eritmasi maydoni bilan aloqa qilganda termal stress tufayli urug'lik kristalida dislokatsiyalar hosil bo'ladi va bu dislokatsiyalar bo'yin o'sishi bilan yo'q qilinishi kerak. Bo'yinning o'sishi urug'lik kristalini tezda yuqoriga ko'tarishdan iborat bo'lib, o'sib chiqqan urug'lik kristalining diametri ma'lum bir o'lchamga (4-6 mm) qisqaradi. Dislokatsiya chizig'i o'sish o'qi bilan burchak hosil qilganligi sababli, bo'yinbog' etarlicha uzun bo'lsa, dislokatsiya kristall yuzasidan o'sib chiqishi mumkin va nol dislokatsiyaga ega kristall hosil qiladi.
(4) Yelka o'sishi: Yupqa bo'yin o'stirilgandan so'ng, harorat va tortish tezligini pasaytirish kerak, shunda kristalning diametri asta-sekin kerakli hajmga oshadi.
(5) Teng diametrli o'sish: Yupqa bo'yin va elkalar o'stirilgandan so'ng, tortish tezligi va haroratni doimiy ravishda sozlash orqali ingotning diametri ortiqcha yoki minus 2 mm orasida saqlanishi mumkin. Ruxsat etilgan diametrli qismga izodiametr qismi deyiladi. Monokristalli kremniy gofretlari teng diametrli uchastkalardan olinadi.
(6) Quyruq o'sishi: teng diametrli qism o'stirilgandan so'ng, agar ingot suyuqlik yuzasidan darhol ajratilsa, termal stress ingotda dislokatsiyalar va sirg'alib ketishga olib keladi. Shuning uchun, bu muammoni oldini olish uchun, ingotning diametrini asta-sekin o'tkir nuqtaga aylanib, suyuqlik yuzasidan ajratilguncha kamaytirish kerak. Bu jarayon quyruq o'sishi deb ataladi. O'stirilgan kristall quyma bir muddat sovutish uchun pechning yuqori kamerasiga ko'tariladi va keyin o'sish siklini yakunlash uchun chiqariladi.