Silikon gofretli polishing prokladkalari qayerda ishlatiladi?

Sayqallangan gofretlar eng ko'p ishlatiladigan mahsulot bo'lib, boshqa kremniy gofret mahsulotlari sayqallangan gofretlar asosida ikkilamchi qayta ishlash orqali ishlab chiqariladi.
Cilalı gofretlar eng asosiy va keng qo'llaniladigan kremniy gofretlardir. Jilolangan gofretlar to'g'ridan-to'g'ri xotira chiplari va quvvat qurilmalarida keng qo'llaniladigan yarimo'tkazgichli qurilmalarni ishlab chiqarish uchun ishlatilishi mumkin, shuningdek, epitaksial gofretlar, SOI silikon gofretlari va boshqa turdagi kremniy gofretlari uchun substrat materiallari sifatida ishlatilishi mumkin.
Integral mikrosxemalarning xarakterli chiziq kengligining uzluksiz qisqarishi va litografiyaning tobora nozik aniqligi bilan kremniy gofretidagi juda kichik notekislik integral mikrosxemalar grafikasining deformatsiyasi va dislokatsiyasiga olib keladi. Silikon gofret ishlab chiqarish texnologiyasi yuqori va yuqori talablar va qiyinchiliklarga duch kelmoqda. Chip sirtining zarracha kattaligi va tozaligi ham yarimo'tkazgich mahsulotlarining hosildorligiga bevosita ta'sir qiladi.
Shuning uchun, polishing jarayoni silikon gofret yuzasining tekisligi va tozaligini yaxshilash uchun juda muhimdir. Asosiy printsip yarimo'tkazgichli silikon gofret yuzasining planarizatsiyasiga erishish va qayta ishlangan sirtdagi qoldiq zarar qatlamini olib tashlash orqali pürüzlülüğü kamaytirishdir.