Monokristalli kremniy gofretlarni jo'natishdan oldin qanday ko'rsatkichlarni sinab ko'rish kerak?

Jul 05, 2024Xabar QOLDIRISH

Misol tariqasida 4-dyuymli monokristalli kremniy gofretni olaylik:

news-622-757

Yuqorida ko'rsatilganidek:

 

Orientatsiya: <100>kremniy gofretning kristallografik yo'nalishini ko'rsatadi. Ushbu yo'nalish gofretdagi qurilmalarning elektron xususiyatlari va ishlab chiqarish jarayoniga muhim ta'sir ko'rsatadi.

Turi:P (bor) bitta asosiy yassi bilan gofret P-tipli kremniy ekanligini, ya'ni ortiqcha teshiklarni hosil qilish uchun bor bilan qo'shilganligini anglatadi. "bitta asosiy yassi" kristall panjaraning yo'nalishini aniqlashga yordam beradigan gofret chetining shakliga ishora qiladi.

Qarshilik:1-10 Om-sm - gofretning qarshiligi.

Darajasi:Prime / CZ Virgin kremniy gofretning sifati va tozaligini ko'rsatadi. "Prime" eng yuqori daraja bo'lib, yuqori aniqlikdagi ilovalar uchun ishlatiladi; "CZ" CZ usuli bilan ishlab chiqarilgan bir kristalli kremniy gofretlarni nazarda tutadi.

Qoplama:Yo'q, mahalliy oksid faqat gofret yuzasida qo'shimcha plyonka qatlami yo'qligini anglatadi, faqat tabiiy ravishda hosil bo'lgan silikon dioksid qatlami.

Qalinligi:525µm (+/{2}}µm) gofret qalinligi va xatolik ortiqcha yoki minus 20 mikron ichida nazorat qilinadi. Qalinligining bir xilligi keyingi ishlov berish bosqichlari uchun juda muhimdir.

Diametri:100 mm gofretning diametrini belgilaydi.

Burish:<=30µm, the lower the warp, the better the wafer quality.

Taʼzim qilish: <=30µm, similar to warping, it is also a measure of wafer flatness.

Asosiy joylashuv qirrasi:32.5 +/- 2.5mm gofretning asosiy joylashish chetining uzunligini bildiradi, bu gofret yoʻnalishini aniqlash uchun ishlatiladi. Ba'zi gofretlarda quyida ko'rsatilganidek, ikkinchi darajali joylashtirish qirralari ham mavjud:

news-220-220

Sirt pürüzlülüğü:0.2 - 0.3nm, bir tomoni sayqallangan bo‘lsa, kremniy gofreti bir jilolangan kremniy gofret ekanligini va sirt pürüzlülüğü birligi nanometr ekanligini bildiradi.